產品介紹：

FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機，適用於所有類型的晶圓料盒（Smif Foup、Fosb、Cassette），可以實現無與倫比的清洗和乾燥效果。 裝載有待清洗的foup，在Chamber的中心轉軸上安裝和固定，在封閉的清洗室內360°正反轉動。 由DI Water的表面張力、機械力進行Particle清洗，離心＋熱風進行烘乾等工藝組成，高效率、高品質完成foup的Particle清洗。

設備特點：

●多達十段清洗流程設定，工藝視窗更寬；
●含有自動執行狀態顯示，快速檢視狀態及工作時間；
●扭力偵測轉籃卡榫未定位保護，降低因人為導致設備損壞；
●主軸以伺服馬達控制達到穩定加减速及轉速數值化設定控制；
●旋轉式離心清洗，可正反調速旋轉，對於產品表面的附著殘留物容易清除；
●以IR烘烤加速乾燥時間，無任何水份殘留；
●採用一流體（二流體選項）的清洗模式，能有效的去處微小的污染物；
●操作程式PLC控制可按工作需求自由調整，方便快捷，人性化設計。

應用範圍：
該設備主要用於電晶體制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。