产品介绍：
全自動FOUP清洗機適用於行業主流的12inch FOUP/FOSB Particles及金屬離子清洗。
設備配備多級精密過濾系統，有效保證潔淨等級，滿足制程需求class10/100。
配寘多種噴淋清洗工藝，可實現360°清洗，保證制程的高精度清洗需求。
配備真空乾燥系統可提升效率，滿足低濕度要求，濕度即時監控。 （Option）
1.支持EAP/MES/AMHS主流通訊協定，SECS/GEM200/300。
2.支持OHT/PGV/AGV設備對接。
3.符合SEMI S2、S8/CE電晶體製造標準及認證。

应用范围：
該設備主要用於電晶體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。