产品介绍：
全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inch FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。
设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求class10/100。
配置多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，保证制程的高精度清洗需求。
配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。（Option）

1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300 。
2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。
3.符合SEMI S2、S8/CE半导体制造标准及认证。

应用范围：

该设备主要用于半导体制程的FOUP、 FOSB 、 Cassette的Particle清洗。