FOUP清洗机
FP-80C FOUP清洗机
产品介绍:
FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒(Smif Foup 、Fosb 、Cassette ),可以实现无与伦比的清洗和干燥效果。 装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360 °正 反转动。由DI Water的表面张力、机械力进行Particle清洗, 离心+热风进行烘干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。
设备特点:
● 多达十段清洗流程设定,工艺窗口更宽;
● 含有自动执行状态显示,快速检视状态及工作时间;
● 扭力侦测转篮卡榫未定位保护,降低因人为导致设备损坏;
● 主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制;
● 旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易清除;
● 以IR烘烤加速干燥时间,无任何水份残留;
● 采用一流体(二流体选项)的清洗模式,能有效的去处微小的污染物;
● 操作程序PLC控制可按作业需求自由调整,方便快捷,人性化设计。
应用范围:
该设备主要用于半导体制程的Foup、 Fosb 、 Cassette的Particle清洗。
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