产品介绍：

FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以实现无与伦比的清洗和干燥效果。 装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360 °正 反转动。由DI Water的表面张力、机械力进行Particle清洗, 离心＋热风进行烘干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。

设备特点：

● 多达十段清洗流程设定,工艺窗口更宽；

● 含有自动执行状态显示，快速检视状态及工作时间；

● 扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低因人为导致设备损坏；

● 主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制；

● 旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易清除；

● 以IR烘烤加速干燥时间,无任何水份残留；

● 采用一流体(二流体选项)的清洗模式，能有效的去处微小的污染物；

● 操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷，人性化设计。

应用范围：

该设备主要用于半导体制程的Foup、 Fosb 、 Cassette的Particle清洗。